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線切割用綠碳化硅微粉GC powder 1500# 2000#

發(fā)布時間:2024-11-26 04:01:13瀏覽次數(shù):


線切割用綠碳化硅微粉GC powder 1500# 2000#

 
       線切割用綠碳化硅微粉GC powder 1500# 2000#是比金剛石微粉硬度略低,但是成本低很多的切割磨料。綠碳化硅微粉用于硅錠的線切割,其研磨機(jī)理是磨料顆粒對晶體的滾動研磨。因此,綠碳化硅切割后的晶圓表面更為平整,兼顧切割效率的同時,也不會對晶體表面造成太大的損傷。
Green silicon carbide micro powder GC powder 1500 # 2000 # for wire cutting is a cutting abrasive with slightly lower hardness than diamond micro powder, but much lower cost. Green silicon carbide micro powder is used for wire cutting of silicon ingots, and its grinding mechanism is the rolling grinding of crystals by abrasive particles. Therefore, the surface of the wafer after green silicon carbide cutting is smoother, balancing cutting efficiency without causing too much damage to the crystal surface.

 
線切割用綠碳化硅微粉GC powder 1500# 2000#的特性:
  1. 材料硬度高,莫氏硬度9.4-9.5,略低于人造金剛石磨料。
  2. 通過水洗溢流沉淀工藝生產(chǎn),碳化硅純度大于98.5%,雜質(zhì)少 ,鐵殘留、游離碳含量低。
  3. 顆粒形態(tài)適中,沒有特別突出的尖角,也具有一定的研磨刃口。
  4. 顆粒大小一致性好,粒度分布均勻。
 
線切割用綠碳化硅微粉的物理性能:
努普硬度 2600kgf/mm2
維氏硬度 3100-3400kg/mm2
莫氏硬度 9.4 min
熔點(diǎn) 2600°C高溫下游離
顆粒形狀 有棱角顆粒
顆粒圓度 0.87-0.92
PH值 6.8-7.1
導(dǎo)熱性 210 btu/hr/ft2/in/°F (400 °F)
100 btu/hr/ft2/in/°F (1600 °F)
比重 3.2 g/cm3
導(dǎo)熱系數(shù) 0.013 cal/cm2.sec (900°C)
熱膨脹系數(shù) 7-9 x10-6 /℃(0-1600°C)
顏色 綠色
 
線切割用綠碳化硅微粉GC powder 1500# 2000#典型化學(xué)指標(biāo):
成分 標(biāo)準(zhǔn)值 典型值
SiC ≥98.5% 98.66%
SiO2 ≤0.20% 0.13%
F,Si ≤0.20% 0.11%
Fe2O3 ≤0.20% 0.09%
F.C ≤0.20% 0.18%
 
線切割用綠碳化硅微粉粒度分布(日標(biāo)JIS):
JIS粒度 D0(微米) D3(微米) D50(微米) D94(微米)
GC #800 ≤ 38 ≤ 31 14.0±1.0 ≥ 9.0
GC #1000 ≤ 32 ≤ 27 11.5.±1.0 ≥ 7.0
GC #1200 ≤ 27 ≤ 23 9.5±0.8 ≥ 5.5
GC #1500 ≤ 23 ≤ 20 8.0±0.6 ≥ 4.5
GC #2000 ≤ 19 ≤ 17 6.7±0.6 ≥ 4.0
 
 
線切割用綠碳化硅微粉的應(yīng)用場景:
  1. 太陽能硅片的線切割。
  2. 半導(dǎo)體硅片的線切割和研磨。
線切割用綠碳化硅微粉的生產(chǎn):

線切割用綠碳化硅微粉的包裝:

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