綠碳化硅制造方法同黑色碳化硅，但采用的原材料純度要求較高，也在電阻爐中2200°C左右的高溫下形成，綠色，呈半透明狀，六方晶形，其Sic含量較黑色為高，物理性能與黑色碳化硅相近，但性能略較黑色為脆，也具有較好的導熱性與半導體特性。

 
    綠碳化硅微粉是指在#280到#2500的料，型號越小，粒度相比較較粗，比如說#1200的中值在9.5左右，#1000的中值在11左右，新材料綠碳化硅生產(chǎn)工藝流程如下：
 
    (1)取碳化硅原料，經(jīng)破碎機中碎，并篩分至不大于5mm的碳化硅顆粒，再用整形機對其進行整形至不大于2mm的碳化硅顆粒，且其中橢圓形顆粒占80%以上，再對其進行酸洗除雜，干燥;
 
    (2)將上述干燥后的碳化硅顆粒用磨粉機粉碎成d50=9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎時，磨粉機主機電流設定為65-75A，風機流量設定為40-50m3/min，分析機轉速為400--600轉/分;
 
    (3)然后用渦流式氣流分級機對碳化硅粉進行分級，分級時，渦流式氣流分級機的風機流量為25-43m3/min，分級輪轉速為2600--3300轉/分，從分級口分出粒度ds94=6.5-5.5μm的成品A，旋風口分出ds94≤5.5μm的半成品。